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博曼X射线镀层测厚仪 BA-100
博曼X射线镀层测厚仪 BA-100
产品用途:
可用于半导体、PCB板、汽车部件等产品表面镀层测试。
性能优势:
1.良好的元素分辨率,无需二次滤波器
2.峰位长时间保持稳定
3.无需频繁进行校准
4.可以测量更小的面积,更多层的镀层,更薄的镀层厚度,测量数据非常稳定
5.操作简单,可按需求自定义测量报告机报告可以一键生成(PDF或CSV等格式)
6.智能报告输出格式可以将测试位置图片全部输出,便于观察和分析
7、测量精度高,稳定性强,SDD和Si-PIN探测器可以选择。
Specitications规格参数 |
||
项次 |
项目 |
规格/技术参数 |
1 |
测量方向 |
从上往下 |
2 |
外形尺寸 |
450x450x600 mm |
3 |
辐射剂量 |
符合国家X射线装置豁免管理规定 |
4 |
X射线源 |
X射线管(W靶微聚焦光管),50KV, 0.1mA |
5 |
可调高压 |
20~50kv 连续可调 |
6 |
基本滤波片 |
4个Al滤波器 |
7 |
准直器 |
四个, Ø 0.1mm 、Ø 0.2mm、Ø 0.3mm、Ø 0.6mm |
8 |
X射线接收器 |
Amptek Si-PIN 接收器,分辨率 139~190eV FWHM |
9 |
视频显微镜 |
高分辨CCD彩色相机 |
10 |
放大倍数 |
倍率30X |
11 |
聚焦 |
自动激光聚焦 |
12 |
可同时测量镀层数量 |
4层 |
13 |
Z轴行程 |
135mm |
14 |
可测试样品最大面积 |
600x600mm |
15 |
可测试样品最大重量 |
10 kg |
16 |
样品仓内最大样品高度 |
开槽高度15mm,仓内最大样品高度140mm |
17 |
测试时间 |
40~120S,用户可根据镀层结构和精度要求进行调整,建议40以上 |
18 |
计算机配置&软件 |
I5处理器, 8G RAM, 500G固态硬盘,显示器采用21英寸,操作系统采用简体Windows 10专业版;Bowman Xralizer V3.0.5 |